SUN-WB12160是星泰克創(chuàng)新臨時鍵合膠產(chǎn)品,可以牢固地將待加工晶圓跟載片粘合在一起。加工完畢,通過烘烤升溫的方法將晶圓跟載片分離。這一系列產(chǎn)品包括低溫和高溫解鍵兩大類,解鍵后清洗快速干凈。星泰克臨時鍵合膠特別適合晶圓減薄工藝,應(yīng)用于3D封裝及MEMS加工。在完成鍵合、減薄、光刻、刻蝕等程序后,通過熱滑移方式將晶圓與載片分離。在超薄晶圓加工過程中,SUN-WB12160表現(xiàn)出優(yōu)異的流變性、熱穩(wěn)定性、化學(xué)抗性及粘結(jié)強度。
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