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星泰克成功開發(fā)出一系列用于納米壓印的光刻膠,產(chǎn)品性能穩(wěn)定,容易脫模。 SUN-1600N系列納米壓印光刻膠,具有良好的流動(dòng)性、高填充性、高感光性、高產(chǎn)出率,及高刻蝕比等特點(diǎn)。i-線和g-線紫外光均可固化,可廣泛應(yīng)用于圖形化藍(lán)寶石襯底、集成電路、生物傳感器、微納光學(xué)器件等工藝制程。
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