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這是一款環(huán)氧類負性光刻膠。具有對比度高、分辨率高、粘度高、深寬比高、以及附著性強等特點，廣泛用于微機電系統(tǒng) (MEMS)制造、相關半導體微電子制造以及其他需要高深寬比的工藝中。